材質 | 特性 | 應用零件 |
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氧化鋁 Al2O3 |
耐高溫最高使用溫度<1500℃、耐磨耗,高強度各式陶瓷中成本相對較低且擁有許多優異特性。 廣泛應用於須絕緣、耐熱等的各類工業產品,如噴嘴、軸承、精密定位治具夾具。 |
陶瓷過濾器、陶瓷零件、Cover Ring、陶瓷手臂 |
碳化矽 SiC |
硬度、低膨脹、耐腐蝕性,熱傳導率高,高溫環境下強度仍不改變。 種類多樣,有SSIC、SiSiC、CVD SIC…等;有不同的適用範圍,應用範圍廣嚴苛環境中有很好的穩定性表現。 |
SIC:SiC Tray、SiC DC Plug、SiC Arm、SiC Stage CVD SIC:CVD SiC 零件、CVD SiC Tray |
氮化鋁 AlN |
高熱傳、耐腐蝕、耐熱性強,絕緣以及抗酸鹼熱傳導與耐熱衝擊優於氧化鋁數倍。 | AlN 坩鍋、氮化鋁片、氮化鋁wafer |
矽 Si |
高純度、最高適用溫度<1350°C 重要的半導體基礎材料,主要應用在積體電路及微晶片。 |
Cell Body、wafer Tray |
多孔性陶瓷 Porous Ceramics |
具耐溫、透氣等特性,大量製成真空吸盤運用於自動化系統。 以提升各種產業(例如:半導體、光電產業…等)自動化搬運移載效能。 只要有吸附面積,真空吸盤可以順應不同的場合提供不同的應用。 |
研磨盤、真空定位吸盤、陶瓷定位吸盤 |
難熔金屬 Refractory Metals |
鎢合金: 高密度、高熔點、高拉伸強度以及導熱率高。 低膨脹係數近氧化鋁、氮化鋁。 製成部件被廣泛運用於半導體、醫療領域。 |
Plasma Filiter、難熔金屬 |